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대구경-관로대구경{0}}관로는 대형 시료, 고온 대기 처리, 진공 열처리용으로 설계되었습니다.- 이 장비는 저항선을 가열 요소로 사용하고 분할된 프로그래밍 가능 온도 제어, 위상{3}}편이 트리거링 및 사이리스터 제어를 결합합니다. 이를 통해 퍼니스는 작동 중에 미리 설정된 가열 및 유지 프로그램을 따를 수 있습니다.
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PECVD 관상로PECVD Tube Furnace는 플라즈마-증강 화학 기상 증착을 위해 설계된 관상로 시스템입니다. 시스템은 주로 석영 반응 챔버, RF 전원 공급 장치, 다중-채널 가스 혼합 시스템, 진공 장치 및 반응 제어 시스템으로 구성됩니다.
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석영관로석영 관로는 최대 온도가 1100도이고 연속 작동 온도가 1000도를 넘지 않는 개방형{0}}3개 구역{1}}관 가열 시스템입니다.
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뒤집기-상관로Flip{0}}Top Tube Furnace는 개방형 챔버 구조를 갖춘 실험실 겸 소규모{1}}열처리로입니다.
최대 작동 온도는 1200도이며 연속 작동 온도는 1100도를 초과해서는 안됩니다. -
고온 관상로고온 튜브로는 밀봉된 퍼니스 튜브, 제어된 분위기 및 더 높은 작동 온도가 필요한 재료 열처리를 위해 설계되었습니다.
이 시리즈에는 커런덤 퍼니스 튜브를 사용하는 1700도 장비가 포함됩니다. 이 구성은 고온-소결, 어닐링 및 재료 실험에 적합합니다. -
슬라이딩 튜브 퍼니스슬라이딩 튜브로는 퍼니스 본체가 퍼니스 튜브의 축 방향을 따라 이동할 수 있는 급속 열처리 시스템입니다. 슬라이딩 레일이 퍼니스 아래에 설치되어 가열 섹션이 튜브의 한쪽에서 샘플 위치로 이동한 다음 처리 후 다시 멀리 이동할 수 있습니다.
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회전식 관상로Rotating Tube Furnace는 퍼니스 튜브 회전과 조정 가능한 퍼니스 경사를 결합합니다. 진공 또는 제어된 분위기 조건에서 금속, 비{1}}금속 및 기타 화합물의 소결, 용융 및 분석에 사용할 수 있습니다.
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스윙 튜브 퍼니스Swing Tube Furnace는 확장된 단일{0}}구역, 대구경-동적 가열 시스템입니다. 퍼니스 튜브를 연속적으로 회전시키는 대신, 퍼니스 본체는 정의된 각도 범위 내에서 앞뒤로 움직입니다.
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수직형 관상로수직관로는 기존의 수평 구조가 아닌 수직관 배열을 사용합니다.
이 디자인은 중력 방향을 따라 샘플을 배치해야 하는 실험, 프로세스 가스가 아래에서 위로 또는 위에서 아래로 흘러야 하는 경우, 진공, 대기 소결 및 기판 코팅이 필요한 실험에 적합합니다.
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PECVD 튜브로, 석영관로, 스윙 튜브로
